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HYBRID STANDARD SCALE

高精度なスタンダードスケール

レーザー直接描画装置(Laser Direct Write Pattern Generator)で直接描画された高精度なスタンダードスケールです。一般的な目盛りに加え、対物ミクロメーターの機能も備え、測定機器、半導体製造装置の精度測定及び評価、顕微鏡の倍率校正など、1本で多目的に使用することができます。

product

ハイブリッド/scale
ハイブリッド/tuzhi1

より高精度な測定のために、主目盛線は全て0.02㎜/0.01㎜/0.005㎜とその幅を変え、幅約0.001㎜、間隔0.01㎜の副目盛り線へとつながっています。 この複合目盛り線により多目的な用途での使用が可能になりました。
※図は主目盛線間隔0.1㎜型です。

ハイブリッド/tuzhi2

主目盛線の全てに、測定時の読み取り誤差を少なくするための工夫が施されています