写真工程

■写真工程では成膜された基板上にレジストという感光膜をコーティングする工程から始まります。

■コーティングされた基板にフォトマスクいわゆる原版をセットし、露光を行います。

■露光にはフォトマスクを密着させ露光する方法と、縮小投影させ露光する方法があります。コシブ精密では投影縮小露光機ステッパーを導入、近年の微細化に対応すべく最小線幅1μmの量産クロムパターンを製品化しております。

■露光された基板はスピンコーターなどで、現像・エッチングされ、パターンが出来上がります。

写真工程を動画にて紹介しております